一、日本 Apollowave MJ-8 / MJ-10 微型桌面手動真空探針臺 產品基礎信息
| 項目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | Apollowave MJ-8（8mm）、MJ-10（10mm）小型桌面真空手動探針臺 |
| 腔體結構 | 迷你一體化不銹鋼密封真空腔，搭配干式泵實現低真空，支持惰性保護氣體置換 |
| 承載規格 | MJ-8最大8mm小片；MJ-10最大10mm方形基板、微型裸芯片、薄膜樣品 |
| 平臺結構 | 腔體內置三軸微米微分手動微調平臺，純手輪控制，無電動驅動部件 |
| 視覺系統 | 腔體側置光學觀測窗，可選配微型CCD工業相機投屏顯微觀測腔內狀態 |
| 核心應用 | 高校二維材料、微型光電器件、微型MEMS小片真空無氧環境手動探針科研測試 |
二、核心規格參數
| 參數項 | 標準規格 |
|---|---|
| 真空性能 | 適配小型干式真空泵，腔體密封泄漏率低，可填充氮氣、氬氣隔絕氧水汽 |
| 載片結構 | 微型真空吸附陶瓷載片臺，可拓展簡易冷熱半導體制冷加熱溫控載片 |
| 操作模式 | 全手動微分手輪三軸調節，僅適合單點、少量微型樣品反復調試實驗 |
| 信號傳輸 | 小型低放氣真空密封射頻、直流饋通端子，不破壞腔體真空度傳輸測試信號 |
| 探針兼容 | 微型GSG真空射頻探針、單/多通道直流真空探針通用適配 |
| 拓展配置 | 干式真空泵機組、簡易冷熱溫控載片、微型CCD成像顯示套件、探針清潔組件可選加裝 |
| 機身特點 | 超小型輕量化臺式腔體，占用操作臺面積極小，實驗室緊湊布局友好 |
| 適用工況 | 高校間歇式科研教學實驗、微小樣品單點失效精細分析，不適合大批量、大尺寸晶圓測試 |
三、產品核心性能優勢
1. 迷你小型真空腔體，普通桌面工作臺即可擺放
整機體積大幅壓縮，無需專用大型設備臺，常規實驗室小型操作臺、桌面工作臺直接放置，適配儀器密集擺放、空間有限的高校教室與小型前沿科研工位。
2. 8/10mm雙尺寸機型，專為微型薄膜、微小裸片定制
無大尺寸晶圓冗余行程，腔體、三軸行程匹配毫米級微小樣品，不兼容6/4英寸晶圓，聚焦二維材料、微型光電探測器等前沿科研小樣，設備采購投入更低。
3. 密封真空隔絕空氣，杜絕微型敏感器件氧化漏電失效
迷你不銹鋼密封艙搭配干式真空泵，可抽真空或通入惰性保護氣體，隔絕氧氣、水汽，二維材料、微型光電器件測試過程不會出現表面氧化、暗電流升高、發光衰減，完成大氣探針臺無法開展的基礎科研實驗。
4. 三軸微米微分手動平臺，微小樣品電極精細點位可控微調
三軸配備高精度微分刻度手輪，位移細分至微米級，針對毫米級薄膜、微型芯片電極可緩慢精細調整扎針點位，便于多組對比實驗、故障芯片失效點位定位分析。
5. 低放氣真空饋通與微型探針，長時間真空實驗腔體真空穩定
整機配套低揮發、低放氣真空密封饋通與微型真空專用探針，無透氣間隙，連續數小時真空實驗腔體真空度無持續衰減，無需頻繁啟停真空泵維持氛圍。
6. 可拓展簡易冷熱載片，真空+溫變耦合基礎可靠性實驗一站式完成
微型載片臺可加裝簡易制冷加熱溫控模塊，在無氧真空環境下完成低溫至中溫區間器件溫變電學、光電特性測試，無需拆分多臺設備搭建實驗平臺。
7. 純手動無電動部件，采購與長期維護成本極低
整機無電機、伺服、工控自動化系統，硬件結構極簡，初始采購成本遠高于中型真空半自動探針臺；無電動易損件故障，日常僅需清潔腔體、潤滑導軌，維護工作量與耗材成本大幅降低。
四、日本 Apollowave MJ-8 / MJ-10 微型桌面手動真空探針臺 適用行業與應用場景
高校二維材料科研實驗室：石墨烯、二維半導體薄膜真空電學輸運、氣敏特性教學與基礎科研實驗
微型光電子研發團隊：微型光電探測器、微型LED裸片真空無氧化暗電流、光譜響應度測試
微型功率分立器件實驗室：微型MOS、二極管小片真空高低溫漏電、擊穿特性摸底實驗
MEMS微型傳感研發工位：微型壓力、加速度MEMS結構真空位移-電學耦合特性測試
前沿微電子教學實驗室：真空半導體特殊環境教學演示、微小流片工藝樣品性能驗證
器件失效分析工位：拆解后微型故障裸片單點精細探針定位故障根源分析
