一、日本 Apollowave MBP-55臺式緊湊型手動探針臺 產品基礎信息
| 項目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | Apollowave MBP-55 臺式緊湊型手動探針臺 |
| 承載規格 | 最大適配55mm以內方形、圓形裸芯片、封裝器件、陶瓷基板 |
| 平臺結構 | 一體化緊湊型鑄鐵底座，X/Y/Z三軸微米微分手動微調平臺，無電動驅動 |
| 視覺系統 | 同軸落射光學顯微鏡，可選配CCD工業相機+顯示屏顯微成像 |
| 核心應用 | 高校教學、初創研發小片裸芯片、分立器件、Mini基板直流/射頻手動探針測試 |
二、核心規格參數
| 參數項 | 標準規格 |
|---|---|
| 位移控制 | 三軸微分手輪微米級細分刻度，人工精細控制樣品與探針相對位置 |
| 載片結構 | 微型真空吸附陶瓷載片臺，專為≤55mm小片夾持設計 |
| 操作模式 | 全手動操作，無自動步進程序，單點、少量樣品反復調試適配 |
| 探針兼容 | 多通道直流探針、GSG射頻微波探針通用適配 |
| 信號輸出 | 側邊標準射頻同軸端口、直流偏置端子，對接各類半導體射頻測試儀表 |
| 拓展配置 | 簡易高低溫溫控卡盤、CCD成像顯示套件、探針清潔組件可選加裝 |
| 機身特點 | 超緊湊臺式一體化機身，占用操作臺面積小，空間緊張實驗室適配 |
| 適用工況 | 高校間歇教學實驗、少量裸片研發摸索、芯片單點失效精細分析 |
三、產品核心性能優勢
1. 超緊湊小型一體化機身，窄桌面即可擺放
整機體積大幅縮減，無需專用大型設備臺，普通實驗室小型操作臺、桌面工作臺均可直接放置，適配儀器密集擺放、空間有限的高校教室與小型研發工位。
2. 專為55mm以內小片定制，匹配裸片、分立器件、Mini基板
放棄大尺寸晶圓冗余行程，載片臺、三軸行程針對小片樣品優化，操作輕便靈活，不適合6/8寸晶圓，專注教學、小樣研發場景，設備采購投入更低。
3. 微米級微分三軸平臺，微小器件電極精細對位可控
三軸配備高精度微分手輪，位移細分至微米級，針對毫米級光電探測器、微型濾波裸片、故障拆解芯片可緩慢微調扎針點位，便于多組對比實驗與失效點位定位分析。
4. 同軸光學顯微觀測，微小焊盤可視化精準控制扎針壓力
采用同軸落射照明光學鏡筒，可選外接CCD投屏顯示器，微小器件電極清晰放大顯示，人工直觀觀察探針接觸狀態，有效減少探針劃傷電極、接觸電阻異常導致的測試失效。
5. 微型真空吸附載片臺，可拓展簡易冷熱測試模塊
標準微型真空牢牢吸附小片樣品，手動微調過程不會滑動偏移；可加裝小型簡易高低溫卡盤，完成常溫至中溫區間器件溫變電學性能驗證，拓展可靠性實驗能力。
6. 射頻、直流雙信號接口兼容，單臺覆蓋多類小樣研發需求
機身集成標準化射頻同軸接口與直流偏置端子，搭配微波探針測試小型LTCC濾波器S參數、插損；更換直流探針測試MOS、二極管IV曲線、擊穿電壓，一套設備同時支撐射頻與功率分立器件教學研發。
7. 純手動無電動部件，采購與長期維護成本更低
整機無電機、驅動器、工控自動化系統，硬件結構簡單，初始采購成本遠低于半自動、標準手動6寸探針臺；無電動易損件故障，日常僅需定期潤滑導軌，維護工作量與耗材成本大幅降低。
四、日本 Apollowave MBP-55臺式緊湊型手動探針臺 適用行業與應用場景
高校微電子、光電通信實驗室：半導體器件基礎教學實驗、流片小片樣品性能演示
初創射頻光電研發團隊：小型LTCC濾波器、微型光電探測器裸片射頻/直流特性摸索
半導體失效分析工位：拆解后小型故障芯片單點精細探針定位故障根源
分立器件研發實驗室：二極管、三極管、MOS管裸片IV曲線、耐壓特性摸底實驗
小型封裝元器件廠：TO封裝器件、Mini陶瓷基板來料簡易電學性能抽檢
