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AP-200 / AP-300 半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)
更新日期：2026-07-07
訪問(wèn)量：8
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址：日本
一、日本 Apollowave AP-200 / AP-300 半自動(dòng)晶圓探針臺(tái) 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息
| 項(xiàng)目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號(hào) | Apollowave AP-200（6寸）、AP-300（8寸）半自動(dòng)晶圓探針臺(tái) |
| 平臺(tái)結(jié)構(gòu) | 重型鑄鐵底座三軸微米級(jí)電動(dòng)位移平臺(tái)，程序自動(dòng)步進(jìn)定位 |
| 晶圓適配 | AP-200≤6英寸晶圓；AP-300≤8英寸晶圓/陶瓷基板 |
| 視覺(jué)系統(tǒng) | 同軸落射光學(xué)顯微鏡+高清CCD，顯示器實(shí)時(shí)顯微焊盤(pán)對(duì)位 |
| 核心應(yīng)用 | 射頻GaN、光子芯片、功率半導(dǎo)體晶圓直流/射頻S參數(shù)半自動(dòng)探針測(cè)試 |
二、核心規(guī)格參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng) | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 運(yùn)動(dòng)精度 | 三軸微米級(jí)重復(fù)定位精度，批量晶圓復(fù)測(cè)數(shù)據(jù)一致性穩(wěn)定 |
| 載片固定 | 真空吸附陶瓷載片臺(tái)，可拓展高低溫冷熱溫控卡盤(pán) |
| 操作模式 | 半自動(dòng)：人工上下料，軟件全自動(dòng)陣列步進(jìn)扎針采集數(shù)據(jù) |
| 探針兼容 | GSG/GSGSG射頻微波探針、多通道直流探針卡通用適配 |
| 控制系統(tǒng) | 工業(yè)觸控一體機(jī)，可視化圖形編輯晶圓測(cè)試點(diǎn)位矩陣 |
| 信號(hào)接口 | 標(biāo)準(zhǔn)射頻同軸端口、直流偏置端子，對(duì)接矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)儀 |
| 拓展配置 | 高低溫模塊、自動(dòng)探針清潔機(jī)構(gòu)、晶圓盒送料模塊可選加裝 |
| 適用工況 | 研發(fā)實(shí)驗(yàn)室間歇樣品測(cè)試、中試產(chǎn)線全天批量晶圓抽檢通用 |
三、產(chǎn)品核心性能優(yōu)勢(shì)
1. 雙尺寸機(jī)型分層匹配，研發(fā)/中試場(chǎng)景靈活選型
AP-200定位6英寸及以下小批量樣品，整機(jī)占地更小，預(yù)算友好，適配高校、企業(yè)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室；AP-300支持8英寸大尺寸量產(chǎn)晶圓，滿足中試產(chǎn)線批量良率篩查，客戶可根據(jù)自有流片規(guī)格精準(zhǔn)匹配機(jī)型，避免設(shè)備規(guī)格過(guò)剩增加投入。
2. 三軸電動(dòng)自動(dòng)步進(jìn)平臺(tái)，大幅降低人工重復(fù)操作工時(shí)
區(qū)別純手動(dòng)探針臺(tái)，三軸電動(dòng)平臺(tái)可提前在軟件繪制晶圓芯片陣列，完成單顆器件測(cè)試后設(shè)備自動(dòng)移動(dòng)至下一個(gè)點(diǎn)位，無(wú)需人工反復(fù)平移晶圓，大批量晶圓測(cè)試時(shí)有效縮短檢測(cè)時(shí)長(zhǎng)，同時(shí)消除人工移動(dòng)帶來(lái)的定位偏差。
3. 同軸CCD光學(xué)視覺(jué)系統(tǒng)，微小裸片焊盤(pán)精準(zhǔn)可視化對(duì)位
采用同軸落射照明光學(xué)顯微系統(tǒng)，搭配高清工業(yè)CCD實(shí)時(shí)放大顯示晶圓表面，微米級(jí)微小射頻焊盤(pán)、光子波導(dǎo)電極清晰可見(jiàn)，可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)探針扎針高度與壓力，減少探針劃傷焊盤(pán)、接觸電阻異常導(dǎo)致的測(cè)試失效。
4. 真空載片臺(tái)+高低溫拓展，覆蓋常溫/冷熱可靠性全測(cè)試需求
標(biāo)準(zhǔn)真空吸附固定晶圓，測(cè)試過(guò)程不會(huì)出現(xiàn)晶圓滑動(dòng)偏移；可加裝熱電/液氮溫控卡盤(pán)，實(shí)現(xiàn)寬溫區(qū)間芯片溫變電學(xué)性能測(cè)試，滿足功率器件、射頻功放高低溫可靠性研發(fā)實(shí)驗(yàn)要求。
5. 射頻、直流雙信號(hào)兼容，單臺(tái)設(shè)備覆蓋多品類(lèi)半導(dǎo)體芯片
機(jī)身集成標(biāo)準(zhǔn)化射頻同軸接口與直流偏置端子，搭配微波探針可完成濾波器、功放S參數(shù)、插損隔離度射頻測(cè)試；更換直流探針卡即可測(cè)試MOS、二極管IV曲線、擊穿電壓，一套設(shè)備同時(shí)服務(wù)射頻與功率器件研發(fā)。
6. 可視化觸控編程，無(wú)代碼快速自定義晶圓測(cè)試流程
配套工業(yè)觸控一體機(jī)控制終端，圖形化界面框選芯片陣列、設(shè)置步進(jìn)速度、扎針停留時(shí)長(zhǎng)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)路徑，無(wú)需專(zhuān)業(yè)編程基礎(chǔ)，實(shí)驗(yàn)室工程師可快速搭建專(zhuān)屬晶圓測(cè)試程序，降低設(shè)備使用學(xué)習(xí)成本。
7. 半自動(dòng)折中方案，平衡采購(gòu)成本與批量檢測(cè)產(chǎn)能
全自動(dòng)探針臺(tái)采購(gòu)與維護(hù)成本高昂，僅適合大規(guī)模量產(chǎn)；純手動(dòng)臺(tái)批量測(cè)試效率低下；AP系列半自動(dòng)機(jī)型僅人工負(fù)責(zé)上下晶圓，其余定位、扎針、數(shù)據(jù)采集全部自動(dòng)化，兼顧研發(fā)小批量樣品與中試線抽檢需求，有效控制設(shè)備整體投入。
四、日本 Apollowave AP-200 / AP-300 半自動(dòng)晶圓探針臺(tái) 適用行業(yè)與應(yīng)用場(chǎng)景
射頻微波半導(dǎo)體企業(yè)研發(fā)部：GaN/GaAs射頻功放、LTCC濾波器晶圓S參數(shù)常溫/高低溫探針測(cè)試
光電子光子芯片實(shí)驗(yàn)室：硅基、氮化硅波導(dǎo)、DFB激光器裸片直流電學(xué)性能探針驗(yàn)證
高校微電子通信實(shí)驗(yàn)室：半導(dǎo)體器件教學(xué)實(shí)驗(yàn)、工藝流片小批量樣品性能摸底
化合物半導(dǎo)體中試產(chǎn)線：6/8英寸晶圓來(lái)料批量電學(xué)良率抽檢、工藝參數(shù)驗(yàn)證
功率半導(dǎo)體研發(fā)工位：MOS、IGBT、整流二極管裸片IV曲線、擊穿電壓探針檢測(cè)
無(wú)源陶瓷基板廠商：射頻濾波基板裸片插損、駐波比射頻自動(dòng)探針篩查
